行业：我们的现场废气处理

戴思 DAS Environmental Expert 可以为世界各地的高科技产品制造商提供量身定制的有效解决方案。这是我们按照与人类及环境保护相一致的方式为社会的技术发展做出的贡献。

行业与参照一览

戴思 DAS Environmental Expert 的废气处理解决方案始终进行量身定制。我们为半导体 /MEMS 与太阳能行业客户以及 TFT 与 LED 领域客户提供支持，可以分析最佳处理效果、优化现场设备并对客户群进行维护。

许多工业与研究生产规程都采用工艺气体，并且会产生废气，例如：在晶片清洗或蚀刻、CVD 和外延工艺过程期间。这些废气被视为温室气体，具有毒性和/或高易燃性，并且经常会对生产设施及环境造成显著的风险。

我们在 CVD、TCO 与烘干工艺过程方面具有丰富的技术专长，这将使我们的太阳能行业客户获益。对于薄膜模块与基于晶片的电池，我们具有详尽的制作过程知识，这意味着我们明白废气治理对于这些工艺过程的安全而言必不可少。

制造 TFT/LCD 显示器也需要进行废气处理。例如，在玻璃基板上生产大型薄膜晶体管（TFT）的工艺过程采用化学气相沉积（CVD）将薄膜分离到材料上。

LED 行业在过去几年中经历了强劲的增长。这也意味着增加排放量，需要在使用点由特殊的废气处理系统减少排放量。在制造基于创新发光二极管（LED）技术的产品时，将大量使用氨气与氢气作为工艺气体。

在纳米技术方面，采用了微小的颗粒物（希腊语 nános，意为“矮人”）。这些颗粒物的尺寸范围为单个原子到大约一百纳米直径。由于具有这样的小尺寸，纳米材料性质将受到其大表面面积的强烈影响。凭借这一点可以实现期望的效果，例如：著名的荷叶效应或者碳纳米管的巨大载流容量。

对于面向未来的技术，例如：工业 4.0、自动驾驶车辆与物联网（IoT），由于 MEMS 部件是模拟与数字领域之间的联系环节以及数字化数据处理的交换机，因此它们具有基础性的重要意义。随着这些面向未来的技术的快速发展，MEMS 的市场与市场份额正处于增长之中。