适用于 LED 行业的高效废气处理
在制造基于创新发光二极管(LED)技术的产品时,将大量使用氨气与氢气作为工艺气体。戴思的环境工程师已经意识到了这一市场趋势,并且开发了新的解决方案,可以对工艺气体进行有利于环境保护的处理。
采用戴思的系统实现安全的 LED 制造
LED 行业已经成为了多年来发展速度最快的高科技市场之一。继用于手机小型液晶显示器以及电视机市场中更大屏幕液晶显示器的 LED 背光之后,下一个具有增长潜力的市场是照明行业。
对于 LED,这一规模的大众市场也意味着增加排放量,需要在使用点由特殊的废气处理系统减少排放量。戴思的环境工程师已经意识到了这一市场趋势,并且开发了新的解决方案,例如:在 MOCVD 过程中用于废气处理的 LARCH。
高效的氢气与氨气处理
戴思的环保专家:废气处理系统 LARCH 专为 MOCVD(金属有机物化学气相沉积-MOCVD)过程而设计。它能够处理大流量的氢气与氨气以及小流量的金属有机物与搀杂剂,在常见的 LED 工艺过程中通常会遇到这些物质。
该系统分三个步骤进行运行。首先,通过特殊的填充入口将工艺过程废气引入到分解区内。在那里,将进行氨气的分解。随后,将采用电气方式点燃并氧化氢气。废气将在反应器内被燃烧和氧化。最后,废气将由热交换器进行冷却。
由于采用了戴思技术,净化后的气体可以被释放到环境中,无需进行任何进一步处理。传感器以及各种冗余安全设施可以保障稳定、安全的运行。该过程依赖简单的原理,还可以采用经济的方式实现低排放水平。因此,它能够替代先前采用湿法洗涤段,这种洗涤段产生了大量的氨。它也更加环保。