处理技术

“源自德国”针对中国高科技行业的废气处理技术

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由DAS Environmental Expert提供的废气处理解决方案

“源自德国”针对中国高科技行业的废气处理技术

高科技行业如半导体、光伏、LED和FPD等使用的工艺气体多为易燃、易爆气体 (如H2、SiH4) 或有毒气体 (如COF2、HBr、F2),这些气体在接触人或野生生物前必须经过处理。同时,这些有些使用的气体会对环境造成污染,例如,CF4能在大气中存在约50,000年,温室效应比CO2强6,500倍。许多废气的气流中含有大量颗粒或粉尘,极可能干扰设施排放气体,导致制造工厂的系统或业务意外地不能进行工作或停工。

处理工业废气的原因

  • 保护设备与设施
  • 保护人类
  • 保护环境

为半导体行业提供的废气处理

为半导体行业提供的废气处理

20世纪90年代早期,半导体行业缺乏适当且全面的废气处理技术解决方案。从过去到今日,该行业一直使用有害工艺气体,其产生的废气必需经过有效的处理。常见处理工艺有:

  • WCVD
  • 外延
  • 蚀刻
  • 晶圆清洗

常见气体/主要成分为CF4、SF6、C4F8、SiH4、NH3、TEOS、NF3、H2、SiH2Cl2、GeH4、IPA 和HF。

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为光伏行业提供的废气处理

为光伏行业提供的废气处理

太阳能被视为“绿色科技”,但多年来,绝大部分以硅为原料制作太阳能电池的生产过程都采用了半导体行业司空见惯的处理步骤。与半导体行业一样,太阳能电池的生产过程可能使用了会污染环境的有害物质,根据相关法律规定,需进行有效的处理。常见处理工艺有:

  • CVD
  • TCO
  • 烘干

常见气体/主要成分为SiH4、NH3、DEZ与松油醇

为LED行业提供的废气处理

为LED行业提供的废气处理

在为手机小型液晶屏以及电视市场的大型液晶屏提供LED背光之后,下一个潜在增长市场将是照明行业。LED大众市场的规模意味着排放量增加,极需专门的废气处理系统进行处理净化。常见处理工艺是MOCVD。 常见气体/主要成分为H2与NH3。

为其他行业及工序提供的废气处理

DAS为部分行业提供静电除尘处理系统,以减少有机物排放 (挥发性有机复合物),并处理粉尘。如:

  • 化工业
  • 造纸业
  • 塑料回收


“源自德国”的环保高科技,在中国广受赞誉

Wu Bin 戴思环保设备贸易(上海)有限公司

«我们是一家专注于尾气处理设备和污水处理解决方案的世界领先的环保供应商,我们将以德国的品质给您提供满意的方案及产品,使您不用再为保护我们可爱的环境而烦恼。»

吴彬,DAS中国分公司总经理

环境专家

DAS Environmental Expert

戴思环保设备贸易 (上海) 有限公司 (DAS Environmental Equipment China Ltd.) 位于上海,是总部设于德国德累斯顿的DAS Environmental Expert公司的中国分公司。自1991年成立起,专为特定客户生产使用端废气处理设施。
DAS公司于2001年进驻中国市场,如今已为中国的半导体和光伏行业安装了数百套产品。2011年,DAS中国实施了全球最大的薄膜太阳能项目,2012年成功地与天威完成了联合成本节省项目。
多家知名客户尤为称道DAS集团的合作发展理念。DAS在微晶片和太阳能电池模块制造工艺方面的广泛技术知识令他们受益匪浅。DAS利用这些专业经验,为客户量身打造各种高效环保的解决方案。
DAS Environmental Expert公司业务遍布全球,目前拥有246名员工。公司另设有一个业务部门,专门为工业和城市废水开发处理和系统解决方案。

黄跃龙博士

保定天威薄膜光伏有限公司 (Baoding TianWei SolarFilms Co., Ltd.) 副总经理

“天威的经营理念可简单概括为四个词:严明、勤奋、务实、高效。我们也期待我们的设备供应商具备同样的理念。因此2009年我们决定与DAS合作。我们感谢DAS提供的卓越服务,以及他们工具背后的非凡技术理念,从而为我们带来安全生产绩效、清洁的废气以及稳定的流程。”


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