我们的使用点废气处理组合

自 1991 年以来,戴思 DAS Environmental Expert 就在开发和生产用于全球高科技行业中废气处理的客户特定使用点设施。这就是我们如何为社会的技术发展提供支持并在同时保护人类与环境的方式。

关于废气处理的治理概念

工业废气的处理将对人类与环境的保护以及生产过程的稳定起作用。戴思 DAS Environmental Expert 致力于这项任务已经超过了 25 年。我们的治理概念始终按照德国的工业高标准进行定制和制造。我们的全球服务团队将按专业方式为已安装的所有系统提供支持。由于我们在德累斯顿/德国的总部以及在台湾和美国的创新中心

 

都具有内部研发能力,因此,我们与客户密切合作,可以迅速采取新的创新周期。我们的解决方案符合高科技行业的最高质量与安全标准,并且满足德国空气质量控制技术指南(TA Luft)的严格要求。所以这一切都使戴思 DAS Environmental Expert 成为了在其所在分支领域中处于领先地位的公司之一。

 

我们的废气处理组合一览

定制废气处理系统的规划与设计

与制造商、建筑设计师及 OEM 进行合作,可以开发并优化废气处理系统。我们可以携手一起找出在安全、成本、节能及关联服务方面的创新解决方案。

使用点废气处理系

戴思 DAS Environmental Expert 的使用点废气治理系统可以处理工艺气体,例如:在半导体、光电、LED 和 TFT 行业中产生的工艺气体。戴思洗涤器可以处理具有可冷凝性、易燃性、腐蚀性、活性、毒性和/或自燃性气体和细微粉尘。我们的工艺过程组合包括燃烧/水洗系统、湿式洗涤器、热解和静电过滤器。

废气治理系统的优化

对于客户而言,工艺过程优化经常会引起工艺过程废气的成分和数量发生变动,从而导致关于废气处理系统的要求产生变化。对于系统部件和模块的多变行业标准,也需要在废气处理系统方面进行持续的进一步开发。

废气处理系统的服务与维护

戴思 DAS Environmental Expert 服务团队可以根据要求或者在世界各地的高科技工场作为常驻现场团队全天候恭候您的差遣。我们的客户支持包括启动、专业维护和技术支持。我们将在全世界范围内专门凭借原装备用零件与耗材零件展开工作,确保废气处理的安全和效率。

关键工艺过程的处理

类似于微芯片、光电模块、平面屏幕和发光二极管(LED)的强大高科技产品的制造,需要采用高度复杂的多级制造工艺过程。每个生产子步骤都会形成必须要在起始点(使用点)直接减少的废气。请在此了解有关于这些工艺过程以及我们的解决方案的更多信息。

我们信任戴思 DAS Environmental Expert 废气治理设备的历史超过 18 年。来自于德累斯顿的环保专家都了解我们的高质量标准。他们的解决方案和专业服务将为达到这些标准做出显著的贡献。

Jürgen Burek, Robert Bosch GmbH

作为一个国际性的微芯片制造商,我们信赖 DAS 具有的高超技术专长。多年以来,我们都在依靠 DAS 的处理解决方案。因此双方已经形成了一种深厚的关系。

Eckhard Oetjen, GLOBALFOUNDRIES

我们的工业废气处理技术组合

在工业中实现环境保护与安全的废气处理

微芯片、太阳能电池、平面屏幕与发光二极管(LED)的制造商需要采用非常复杂的多级制造工艺过程,而这些过程会产生有害的废气。这样的工艺过程步骤可能包括蚀刻、CDV、外延或 TCO。由于下列几个原因,需要在使用点对废气进行即时处理:

 

1. 制造过程稳定性:

使用的许多工艺气体都具有易燃性或爆炸性,例如:氢气(H2)或硅烷(SiH4),而其它工艺气体则具有毒性(COF2、HBr、F2),因此,必须在接触到人或野生动物前对它们进行处理。

2. 环境保护:

使用的许多气体都对环境具有危险性。例如,四氟化碳(CF4)在大气中的存在期限约为 50,000 年,而它具有的全球暖化潜势是二氧化碳(CO2)的 6,500 倍。

3. 制造过程稳定性:

许多废气都在气流中包含大量的颗粒物或粉尘。这种粉尘有可能会扰乱设施排气装置,导致制造工厂出现非预定的停产时间。使粉尘难以处理的因素是颗粒物尺寸通常为亚微米级,它们可以轻易穿过湿式洗涤器或物理过滤器,不会被截留在洗涤液体中。

在通常情况下,气体处理工具位于辅助生产层中,布置在真空泵之后。在物理上接近真空泵将带来几个优势:缩短这两个工具之间的气体管线,同时降低泄漏的概率并具有节约成本的可能性——这是因为一些工艺过程需要对该管线进行加热,以便避免在废气管线内发生冷凝。此外,废气处理系统的应用将降低对于气体管线清洗与维护的需求。我们的案例研究章节将给出一些实例。

您的废气处理专家

戴思环保设备贸易(上海)有限公司
上海浦东新区张江微电子港碧波路690号1幢2层203-2室

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