燃烧/水洗废气处理系统

在最小的空间内结合燃烧和水洗两种作业程序，可在使用端安全地处理废气

半导体行业废气处理

燃烧 - 水洗工艺已应用于多款 DAS 废气处理系统，可处理各类危险有害废气。以半导体行业为例，该工艺可针对氟化物、氨气、硅烷及氢气等气体进行处理。我们的紧凑型解决方案具备占地面积小、维护便捷的优势，搭配工艺工具接口，能够进一步优化运行成本与综合安全性。

ESCAPE 系列产品线是我们终端式燃烧/水洗技术的核心载体，该技术已深耕市场25 余年，技术成熟度久经验证。旗下燃烧/水洗废气处理Scrubbe可灵活定制应用方案，能处理半导体及光伏行业几乎所有类型的制程废气，且介质供给方式支持灵活选配。

STYRAX 系列产品是专为处理高难度废气处理研发的解决方案，可适配半导体及光伏行业的化学气相沉积（CVD）等工艺场景。我们的应用技术专家会根据客户定制化需求，对该系统进行针对性配置 —— 系统支持燃烧/水洗或等离子体/水洗两种工艺模式，以此实现介质消耗量的灵活调节。

TILIA 系统是一款紧凑型解决方案，可安全处置半导体及光伏行业的自燃性、含氟及有毒制程气体。该系统整合燃烧与湿法洗涤双重工艺，能够实现极高的分离效率。欢迎进一步了解，TILIA 如何助力您替换多套传统废气净化系统。

UPTIMUM 系列产品线专为提升设备运行时长而设计，尤其适用于半导体及光伏行业的化学气相沉积（CVD）工艺。产品名称 UPTIMUM 源于英文术语 “Uptime（运行时长）”，彰显了该燃烧 / 湿法系统的高可用性优势。本设备可灵活适配多种应用场景。