适用于废气处理的燃烧/水洗系统

在尽可能最小的空间中组合两个操作规程——燃烧与水洗，可以在使用点实现安全的废气处理。燃烧/水洗技术在处理不同危险及有害废气的各种戴思 DAS Environmental Expert 治理系统中得到了应用。例如，在半导体行业中，采用了氟化合物、氨气、硅烷或氢气。

我们的燃烧/水洗系统

燃烧与洗涤组合在几种戴思 DAS Environmental Expert 产品中用于处理不同的危险及有害废气。我们的紧凑解决方案使用的占地面积小，并且易于维护。过程工具接口可降低操作运营成本，提升整体安全。

ESCAPE——我们为工艺过程废气处理提供的基本系统

ESCAPE 产品系列构成了我们的使用点燃烧器/洗涤器技术的基础——这项技术在市场上得到广泛接受的时间超过了 25 年。气体洗涤器（燃烧/水洗）提供了灵活的定制应用，可以对半导体与光电行业中几乎所有的工艺过程废气进行治理。介质供应可以发生变化。

STYRAX——适用于要求苛刻的 CVD 过程所产生废气的废气处理

STYRAX 产品系列经过专门开发，可以管理要求苛刻的废弃物处理过程，例如：半导体与光电行业中的 CVD 过程。我们的应用专家将保证按定制方式配置燃烧/水洗系统。按照这种方式，可以灵活地采用介质消耗。

UPTIMUM——实现高工具可用性的优化废气处理

UPTIMUM 产品系列专为提高工具正常运行时间而设计——特别是在半导体与太阳能行业里的 CVD 过程中。产品名称 UPTIMUM 是指术语“正常运行时间”，可以强调燃烧/水洗系统的高可用性。可以将该工具用于不同的应用。