采用 STYRAX 的使用点废气处理
STYRAX 工具系列采用燃烧/水洗技术，专门管理要求苛刻的废弃物处理过程，例如：半导体与光伏产业中的 CVD工艺。系统的介质供应可采用多种方式执行。更长的维护周期将增加系统的正常运行时间。
STYRAX 产品系列的开发基于现代废气处理的两大重要愿景：改善的PFC 减排与缩短维护间隔期。因此，在戴思 DAS Environmental Expert 的产品组合中，已经引入了新的技术方法。现在可以实现气体完全燃烧。对于 HF，洗涤阶段进行了优化。水和/或碱液消耗量将实现最小化。特殊的入口设计可以防止发生阻塞。还有其它选项可供选用，便于在其它工艺过程中改善维护间隔期。
STYRAX 废气处理系统的工作原理
将在源头处理工业废气中的 有害物质（使用点）。在这种经过优化的燃烧/水洗技术中，气体将得到彻底燃烧。根据废气的化学成分，会发生各种反应（氧化、还原、热解）。液体壁/膜可以防止反应器中出现腐蚀与颗粒物沉积。在反应器旁的洗涤塔中，可溶性成分将被吸收，而颗粒物将被悬浮。洗涤液可冷却和中和燃烧产物，例如：卤化氢。凭借在整体治理概念范围内的 STYRAX 应用，高科技行业中的制造商将满足德国空气污染法律（德国空气质量控制技术指南）的严格标准。
STYRAX DUO ——具有备用功能的废气处理
STYRAX DUO 是我们的标准版本产品。两个洗涤系统将同时运行。系统经过优化后，半导体与光伏工艺工具，最多配有四个独立入口。如果在一个反应器上出现功能失灵或处于维护期，另一个反应器可支持所有废气的处理（内部备用），这将确保设备达到接近 100％的运行时间。STYRAX DUO 运行时可以采用不同的燃料气体与洗涤器液体。在正面和背面可以找到操作与维护的通道。它的特点是凭借闭环设计实现低耗水量。
规格
- 每个反应器有最多 2 个独立入口
- 凭借备用功能实现运行时间 > 99％
- 第二个反应器允许在维护期间不中断运行
- 可以采用不同燃料气体进行运行
- 闭环设计降低耗水量
其它产品版本——无备用系统
STYRAX INLINE 为多达六条半导体生产线特别优化
STYRAX TWICE 是一个双重系统，它配备了采用一个公共控制与介质供应装置的两个独立燃烧/水洗系统。经过优化后，该系统最多配有八个可用于半导体与光电工艺工具的独立入口。
技术数据
选项
以下设备选项可用于所有的 STYRAX 系统：
- 电源：3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
- 燃料气体：天然气、液化石油气
- 氧化剂：氧气 、CDA
- 闭环系统：水、碱液
- 加热供给管线与入口
- 过程工具接口
- 信号塔
- 滴液盘
- 地震安全套件
- 监控
- SEMI S2 认证
证书
