采用 UPTIMUM 的使用点废气处理
UPTIMUM 属于戴思 DAS Environmental Expert 的燃烧/水洗技术组合。该系统经过专门设计，可以满足特定 CVD 过程对于更长正常运行时间的要求。气体将得到彻底燃烧。UPTIMUM 系统可用于半导体与光伏产业的不同工艺过程。
所有 UPTIMUM 系统都具有小占地面积，且在正面和背面均有维护检修口。安装简单且迅速，无需使用专业设备。过程工具接口可降低操作运营成本，提升整体安全。
UPTIMUM 系统的工作原理
工艺废气最多可通过六个独立入口引入。根据废气的化学成分，会发生各种反应（氧化、还原、热解）。液体壁/膜可以防止反应器中出现腐蚀与颗粒物沉积。在反应器旁的洗涤塔中，可溶性成分将被吸收，而颗粒物将被悬浮。洗涤液可冷却和中和燃烧产物，例如：卤化氢。凭借在整体治理概念范围内的 UPTIMUM 应用，高科技行业中的制造商将满足德国空气污染法律（德国空气质量控制技术指南）的严格标准。
UPTIMUM——CVD 过程的高效使用点废气处理
UPTIMUM 经过优化，可以在不同行业领域中用于来自 CVD 过程的最多六个独立入口。系统运行时可采用不同的燃料气体与洗涤液。
规格
- 可以采用不同燃料气体进行运行
- 闭环设计降低耗水量
技术数据
- 尺寸（宽度 x深度 x高度）：1525 mm x 1050 mm x 2100 mm
- 维护区域通道位于正面与背面
- 气体入口：最大可达 6 x DN25 或 4 x DN 40
- 气体出口：最大 DN100
UPTIMUM 的配置选项
以下设备选项可用于所有的 UPTIMUM 系统：
- 电源：3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
- 燃料气体：天然气、液化石油气
- 氧化剂：氧气 、CDA
- 闭环系统：水、碱液
- 加热供给管线与入口
- 过程工具接口
- 信号塔
- 滴液盘
- 地震安全套件
- 监控
- SEMI S2 认证
证书
