采用 ESCAPE（燃烧/水洗）的使用点废气处理
戴思 DAS Environmental Expert 开发了基于燃烧/水洗技术的 ESCAPE 产品系列。该系统可以处理半导体与光伏产业中不同工艺过程产生的废气。系统的介质供应可采用多种方式执行。
所有 ESCAPE 系统都具有小占地面积，并具有正面和背面的服务与维护通道。安装简单且迅速，无需使用专业设备。过程工具接口可降低操作运营成本，提升整体安全。
ESCAPE 的工作原理
从源头减少工艺废气中的有害物质（使用点）。将废气导入环形燃烧器装置。根据废气的化学成分，会发生各种反应（氧化、还原、热解）。
在随后的洗涤过程中，燃烧生成的可溶性气态与固态化合物将由适当的洗涤液体进行吸收和冷却。即时洗涤可中和燃烧产物，例如：卤化氢。凭借在整体治理概念范围内的 ESCAPE 应用，高科技行业中的制造商将满足德国空气污染法律（德国空气质量控制技术指南）的严格标准。
ESCAPE DUO ——具有备用功能的废气处理
ESCAPE DUO 是一款完善的标准产品版本 ，采用双反应器设计，可以同时运行两个洗涤系统。优化后的EASCAPE DUO拥有最多四个独立入口。如果一个反应器出现功能失灵或处于维护状态，另一个反应器可支持所有废气的处理（内部备用），这将确保设备达到接近 100％的正常运行时间。系统运行时可采用不同的燃料气体与洗涤液 。它的特点是凭借闭环设计实现低耗水量。
规格
- 每个反应器具有最多 2 个独立废气与备用管线
- 凭借备用功能实现运行时间 > 99％
- 第二个反应器允许在维护期间不中断运行
- 可以采用不同的燃料气体与洗涤液体进行运行
- 闭环设计降低耗水量
- 有两个尺寸可供使用
技术数据
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：1650 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
- 维护区域通道位于正面与背面
- DN40气体入口：最大 4 x DN25 或 DN40
- 气体出口：最大 2 x DN100
ESCAPE 其它产品
ESCAPE INLINE
ESCAPE INLINE 是我们的基本系统，优化后，可用于最多四个独立入口。它采用不同的燃料气体与洗涤液进行运行。反应器可以配备节水闭环设计，作为洗涤器液体直通输送系统的替代方案。
技术数据
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：855 mm x 675 mm x 1800/2070 mm
- 维护区域通道位于正面与背面
- 气体入口：最大 4 x DN25 或 DN40
- 气体入口：DN100
ESCAPE的配置选项
以下设备选项可用于所有 ESCAPE 系统：
- 电源：3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
- 燃料气体：天然气、液化石油气、氢气
- 氧化剂：氧气、CDA
- 加热供给管线与入口
- 过程工具接口
- 信号塔
- 滴液盘
- 地震安全套件
- 监控
- SEMI S2 认证
证书
ESCAPE INLINE SEMI Zertifikat
