采用 LARCH 处理 LED 行业废气

LARCH 燃烧器系统由 DAS 特别设计,可以对 LED 行业中的 MOCVD 过程产生的废气进行使用点处理。它能够处理大流量的氢气与氨气以及小流量的金属有机物与搀杂剂。

氧化与热解的处理组合按照可持续方式扩展了 DAS 的技术组合。低投资及运营成本、简洁稳健的设计以及低环境影响(无二氧化碳排放、最小氮氧化物排放量),是 LARCH 的特点。目前的安装装置显示维护间隔期大于六个月。可以从三个侧面获得维护通道。过程工具接口可降低操作运营成本,提升整体安全。通过应用热交换器,可以将工艺气体热量用于其它生产区域。

LARCH 工作原理

该系统分三个步骤进行运行。首先,通过特殊的填充入口将工艺过程废气引入到分解区内。在那里,将进行氨气的分解。随后,将采用电气方式点燃并氧化氢气。废气将在反应器内被燃烧和氧化。最后,废气将在热交换器中进行冷却(<摄氏 60 度)。由于它们满足严格的德国空气污染标准(德国空气质量控制技术指南),因此可以将它们释放到环境中,无需进行任何进一步的处理。

您的优势

  • 无二氧化碳排放:无温室气体、低氮氧化物排放量
  • 无废水:没有涉及 NH4+ 废水限值的问题
  • 在使用点处理氢气:在氢气方面达到最大安全性
  • 内部安全:在发生火灾的情况下进行氢气稀释

技术数据

  • 尺寸(宽度 x 深度 x 高度):1350 mm x 1000 mm x 2000 mm
  • 维护区域通道位于正面与背面,处于工具上方
  • 气体入口:DN40
  • 气体出口:DN300(标准 )

选项

对于所有的 LARCH 系统,都有下列设备选项可供使用:

  • 电源:3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
  • 过程工具接口
  • 信号塔
  • 滴液盘
  • 地震安全套件
  • 采用冷却空气进行冷却(无冷却水)