适用于 TFT 行业的可靠废气处理
在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气,包含了工艺气体硅烷(SiH4)、氨气(NH3)和一氧化二氮(N2O)的残留物。这其中的一些物质具有高腐蚀性、毒性或高易燃性,需要在使用点进行处理。戴思可以针对特定的废气处理问题为客户提供可靠的解决方案。
采用戴思的废气处理系统实现的安全 TFT 生产
危险废气的安全处理
在 TFT/LCD 行业的生产过程中积累的废气,包含了工艺气体硅烷(SiH4)、氨气(NH3)和一氧化二氮(N2O)的残留物。这些废气对环境以及生产设施的安全造成了显著的风险。在工厂的中央废气系统中混合不同的废气,通常会形成具有高易燃性或高爆炸性的气态混合物,这将造成严重的安全危害,因此必须始终加以避免。侵蚀性气体也会促使泵、阀门和管道加快腐蚀,从而进一步损害设施的安全性。废气流中包含的小颗粒物可能会沉积在管道内,并阻塞管道,这将导致增加维护,甚至引起全面停产。