采用水洗洗涤器的废气处理
可以采用湿式洗涤器高效地处理工业废气中的水溶性有害物质。气体洗涤器主要在半导体和 LED 行业中作为使用点（POU）湿法处理系统进行使用，可以保护工厂的废气系统免于污染和腐蚀。
我们的洗涤器组合一览
这种紧凑湿式洗涤器的特点是具有高处理效率和低投资成本。运营成本可以凭借过程工具接口得到优化。
AQUABATE – 采用湿式洗涤器的废气处理
我们的 AQUABATE 工具系列紧凑型湿式洗涤器允许采用灵活的定制设计。这种洗涤器将高效地处理废气，并且需要的占地面积小，可以降低运营成本。
SALIX － 湿式工作台应用所产生废气的水洗洗涤
SALIX 是我们的使用点湿式洗涤器系列，专门处理单晶片清洗湿式工作台产生的工艺过程废气。与先前的概念相比，该系统可以对工艺过程变化实现高灵活性，并且能节约空间及洁净室空气。