TILIA— 内置冗余设计的双反应器系统
TILIA— 内置冗余设计的双反应器系统
TILIA DUO 旨在高效处理不断增长的工艺气流，因此可替代多套传统废气净化系统。
TILIA – 半导体行业先进蚀刻与化学气相沉积（CVD）工艺专用废气处理系统
TILIA系统适用于处理半导体及光伏行业化学与物理工艺中使用或产生的自燃性、含氟、有毒或长寿命环境有害气体及反应产物。处理过程通过燃烧实现，随后在洗涤塔中进行后续处理 —— 在此过程中，颗粒物被分离，可溶性气体成分通过洗涤液得以去除。TILIA在占地面积与处理量的性价比方面具备卓越效率，通过额外集成工艺设备接口，可进一步优化运行成本。
TILIA——工业工艺高效处理解决方案
TILIA DUO
TILIA DUO 包含两个独立单元，每个单元均由一台燃烧反应器和一台洗涤塔（顶部集成除雾器）组成，且各单元配备独立供电系统。
该设备提供 TILIA DUO 2+2、TILIA DUO 4+4 及 TILIA DUO 6+6 三种规格型号，对应每个单元分别配置 2 个、4 个或 6 个废气入口，以及 2 个、4 个或 6 个备用入口 —— 这些备用入口通过冗余管路与另一单元相连。必要时，其中一个单元入口的废气可切换至另一单元处理，因此该系统具备内置冗余设计，可用性极高。
行业领先的减排系统：TILIA减排系统的性能优于国际半导体产业协会气候联盟（SEMI SCC）的温室气体基准值
DAS Environmental Expert GmbH通过其TILIA 减排系统展示了对CF₄及其他氟类温室气体清除效率超过99.9%，这些系统的性能优于SEMI SCC白皮书所设定的基准，并直接有助于行业的碳减排目标。
TILIA减排系统的实践证明，更高的处理效率不仅在技术上可行，更能带来切实的可持续发展效益与经济效益。
燃烧-水洗技术 —— 安全型废气处理解决方案
DAS Environmental Experts推出的紧凑型湿烧组合工艺，基于数十年废气处理经验研发而成。根据工艺气体的成分差异，其会在环形燃烧器中发生氧化、还原或热解反应；后续通过水洗式洗涤工艺，可对生成的化合物进行可靠冷却与捕集。该原位处理技术能够安全高效地处理工业废气（包括含氟化合物、氨气、硅烷或氢气的废气），目前已在全球半导体行业广泛应用。
TILIA—— 优化您的废气处理方案
高效处理自燃性、含氟、有毒或长寿命环境有害气体及反应产物
