
LED行业高效废气处理方案
采用 DAS 减排技术,保障 LED 安全化生产
在 LED 生产制造环节,大量氨气与氢气被用作工艺气体。洞察到这一行业趋势后,DAS 的环保工程师团队研发出兼具创新性与环保性的气体处理解决方案。LED 行业是发展速度最快的高科技市场之一,其应用领域已从显示屏背光拓展至通用照明领域。伴随行业规模的持续扩张,废气排放量也随之攀升,这就对高效废气处理技术提出了迫切需求。DAS 凭借适用于金属有机化合物气相沉积(MOCVD)工艺的 LARCH 等先进系统,精准满足了这一市场需求。

氢气与氨气高效处理方案
DAS 环保技术团队研发出一款专为金属有机化合物气相沉积(MOCVD)工艺设计的废气处理系统 ——LARCH。该系统可高效处理 LED 生产中常见的大流量氢气与氨气,同时兼顾少量金属有机化合物及掺杂剂的净化需求。
该系统的运行分为三个阶段:首先,氨气在专用分解区内完成分解反应;其次,氢气被引燃并发生氧化反应;最后,气体通过热交换器完成降温处理。
依托 DAS 的核心技术,经处理后的洁净气体可安全排放至外界环境。传感器与冗余安全系统为设备稳定运行提供双重保障。LARCH 系统不仅能实现超低排放标准,更可替代传统湿法洗涤工艺,为客户提供兼具环保性与高效性的废气处理解决方案。
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