废气处理的定制概念与解决方案

用于废气处理的产品必须满足保护人类生命与环境的基本法律及标准。创新的戴思 DAS Environmental Expert 解决方案通过加强和提升处理设备、方法及工艺过程,不断地努力拓展可以提高产品价值的新潜力。

废气处理的强化解决方案

存在许多的可能性可以加强各个治理概念。根据当地情况,例如:占地面积限制、 特定材料要求以及客户关于高科技产品的理念,对于环境技术的需求将有所变化。

戴思 DAS Environmental Expert 的解决方案将首先处理扩展的安全参数、成本与能源节约潜力以及先进的服务。

IPAS——集成泵与治理解决方案

 

凭借集成泵与治理解决方案(IPAS)概念,戴思 DAS Environmental Expert 对其在废气处理方面的产品组合进行了扩展,采用集成解决方案将废气处理与泵布置在一个机柜内。所有的戴思 DAS Environmental Expert 废气处理装置都可以实现这种概念。客户可以选择泵供应商,并针对细微粉尘整合可选的吸收器筒与治理解决方案。

泵与废气处理装置之间的简短连接,将降低泄漏与堵塞的风险。与采用两个单独的系统相比,这种组合式解决方案需要的空间较少,并且采用一个公共接口进行运行。

满足更高安全要求的解决方案

戴思 DAS Environmental Expert 系统将连同其它类似物质一起处理具有易燃性、腐蚀性、毒性及活性的废气。因此,在治理过程期间的安全性是优先考虑事项。在戴思 DAS Environmental Expert 系统内的先进传感器技术可以始终实现对系统状态的监视。此外,我们还为客户提供多种单独的选项,其中包括:

  • SEMI S2 认证:SEMI S2 安全指导方针规定了适用于半导体制造设备的环境、健康与安全规定。戴思 DAS Environmental Expert 废气处理系统符合这些指导方针,并且可以选择在交货前对每个系统进行认证。
  • 备用功能:如果进行维护,我们的 DUO 系统经过设计,可以将气流重新导向到系统内的第二个燃烧器。
  • IPAS 概念:将废气处理与泵整合在一个单独的系统中,可以缩短系统部件之间的连接,并降低泄漏与堵塞的风险。
  • 双重系统的保护:多室工艺设施对废气处理装置的容量提出了新的挑战。我们对此做出的回应是双重系统 TILIA。根据客户要求,我们安装了在空间上分隔两个系统的不锈钢壁。
  • 提高功能安全性:在新产品开发与产品提升的范围中,戴思 DAS Environmental Expert 引入了安全 SPS——采用集成故障安全技术的连续控制机构,它们可以提高装置安全性,并且简化和加快故障检修。

提高工艺过程稳定性

当所有的工艺过程平稳运行并且达到理想生产能力时,高科技制造将处于其最高效水平。由于使用点废气处理装置直接连接工艺过程设施,因此,治理系统的运行时间对于生产具有直接的影响。

如果有一个燃烧器需要进行预定维护,则我们的备用解决方案可以通过将装置内的气流重新导向到第二个燃烧器,确保平稳执行操作。这种备用技术保证戴思 DAS Environmental Expert 废气处理装置达到 99.9%的可用性。

连同这种解决方案一起,我们的最新先进技术 开发可以处理 工艺过程稳定性这一主题。我们的气体洗涤器 SALIX 专为减少单晶片水洗产生的废气而设计。直到现在为止,还通过转换箱将这些废气引导到各个废气治理系统中,这  降低了工艺过程变更期间的灵活性。在 SALIX 中,单独工艺过程工具的所有工艺室都直接通向洗涤器,而洗涤器则只与一个中央排气管道相连。

节能的潜力

废气处理装置中的最大节能潜力在于将废气处理系统直接连接工艺过程工具。例如,在通过 无电势触点 或以太网进行连接两者的情况下,处理装置可以按不同的燃烧器容量进行运行,或者可以切换到闲置模式。实现这个概念可以达到超过 20%的节能。更重要的是, 这种方法  可以优化燃料气体(例如:天然气)和氧化剂(压缩空气、压缩干燥空气(CDA)、氧气、水、冷却水和碱液)的消耗量。

关联服务

 

为了在系统故障发生前检测系统问题并提供解决方案,主动数据分析正在变得日益重要。戴思 DAS Environmental Expert 正在开发适用于主动数据分析的多种解决方案。