定制化废气处理解决方案
废气处理类产品必须符合保障人类生命安全与生态环境的核心法律法规及标准要求。DAS Environmental Experts 凭借创新型解决方案，通过持续改进与升级废气处理设备、工艺及方法，不断挖掘技术潜力，实现产品附加值的提升。
废气处理进阶式解决方案
加强个人减排概念的可能性很多。
根据当地的具体情况，如占地面积限制、特殊材料要求以及客户对高科技产品的理念，对环保技术的要求也不尽相同。DAS解决方案首先要解决的是扩大安全参数、成本和节能潜力以及尖端服务等问题。
IPAS - 泵与减排综合解决方案
通过 IPAS 概念（泵与废气处理一体化解决方案），DAS Environmental Experts 扩展了其在废气处理领域的产品组合，提供了将废气处理和泵集成在一个机柜中的一体化解决方案。DAS EE 的所有废气处理设备都可以实现这一概念。客户可以选择泵供应商，并集成可选的吸收滤筒和微尘消减解决方案。
泵和废气处理设备之间的短路连接降低了泄漏和堵塞的风险。与使用两个独立的系统相比，这种组合式解决方案所需空间更小，并且使用一个通用接口进行操作。
提高安全要求的解决方案
DAS 系统可处理易燃、腐蚀性、有毒和反应性废气以及其他类似物质。因此，减排过程中的安全问题是重中之重。DAS 系统内部先进的传感器技术可以随时监控系统状态。此外，我们还为客户提供多种个性化选择，包括
SEMI S2 认证：SEMI S2 安全指南规定了半导体制造设备的环境、健康和安全条款。DAS EE 废气处理系统符合这些准则，而且每个系统都可以在交付前通过认证。
备份功能：如果需要维护，我们的 DUO-系统设计用于将气流重新导向系统内的第二个燃烧器
IPAS 概念：将废气处理和泵集成在一个系统中，缩短了系统组件之间的连接，降低了泄漏和堵塞的风险。
双系统保护：多室工艺设备对废气处理厂的处理能力提出了新的挑战。我们的对策是采用双系统 TILIA。应客户要求，我们安装了不锈钢墙，将两个系统在空间上隔开。
提高功能安全性：在新产品开发和产品改进方面，DAS EE 推出安全 SPS，这是一种集成了故障安全技术的连续控制机制，可提高工厂安全性，简化并加快故障排除。
提高工艺稳定性
当所有工艺流程顺利运行并达到理想产量时，高科技制造业的效率最高。由于使用点废气处理设备与工艺设备直接相连，因此减排系统的运行时间直接影响到生产。
我们的备用解决方案可在一个燃烧器需要定期维护时，将工厂内的气流重新引导至第二个燃烧器，从而确保运营顺利进行。这项备用技术可确保 DAS EE 废气处理设备的可用率达到 99.9%。
利用 SALIX（Scrubber）提高工艺稳定性
除了这一解决方案，我们最新的先进技术开发还解决了工艺稳定性的问题。我们的气体洗涤器 SALIX设计用于消除单晶硅片水洗清洗产生的废气。迄今为止，这些废气都是通过切换箱进入各自的废气消减系统，从而降低了工艺变更时的灵活性。在 SALIX 中，单个加工工具的所有加工室都直接通向Scrubber，并只与一个中央排气管相连。
节能潜力
废气处理厂最大的节能潜力在于将废气处理系统与工艺工具直接连接起来。例如，通过无电势接触或以太网将两者连接起来，废气处理设备就能以不同的燃烧器容量运行或切换到空闲模式。实现这一概念可节约 20% 以上的能源。更重要的是，这种方法可以优化燃料气体（即天然气）和氧化剂（压缩空气、压缩干燥空气（（CDA））、氧气、水、冷却水和碱液）的消耗。
互联式服务
主动数据分析的重要性日益凸显，其核心目标是在系统故障发生前，精准排查系统隐患并制定解决方案。DAS Environmental Experts 正围绕主动数据分析，开发多元化解决方案。
