STYRAX 源头废气处理技术
适用于半导体与光伏行业工艺的源头燃烧 - 水洗及等离子 - 水洗系统
STYRAX - 适用于高产量工艺的废气处理技术
STYRAX是DAS旗下专为高要求大批量生产场景打造的高性能产品系列。该产品系列包含机台点燃烧 - 水洗与等离子 - 水洗系统，具备格外紧凑的占地面积设计。该系列产品专为化学气相沉积（CVD）、氧化物 / 多晶硅 / 金属蚀刻、外延、氮化镓（GaN）、金属有机化学气相沉积（MOCVD）及发光二极管（LED）制造工艺产生的工艺气体研发。STYRAX具有高效低环境影响的核心优势，销毁和去除效率（DRE）表现优异 —— 例如对四氟化碳（CF₄）的去除率超过 95%。凭借其对氢气（H₂）、硅烷（SiH₄）、正硅酸乙酯（TEOS）等多种化学气相沉积（CVD）工艺气体的高处理容量，以及全面的安全防护措施，STYRAX解决方案可为环境、人员健康及生产设备提供全方位保护。
利用 STYRAX 高效处理工业过程中的废气
STYRAX Burn-Wet
STYRAX 产品系列的开发基于现代废气净化的两个关键要求：改进 PFC 处理和维护间隔。此外，湿式洗涤器阶段经过 HF 优化，即水和/或碱的消耗量最小。有害气体入口的特殊设计可防止堵塞。还为特殊工艺开发了更多延长维护间隔的选项。
STYRAX 等离子湿法
STYRAX 等离子水洗系统直接高效地利用电能，为废气处理设定了新标准。由于集成了强大的直流等离子割炬和 15 千瓦的电源，因此可以获得最佳的能量产出。
STYRAX 等离子洗涤器保留了久经考验的反应器设计和洗涤阶段，使其与天然气驱动的前代产品一样可靠、易于维护。占地面积保持紧凑。同时，能耗降低了 50%，令人印象深刻！
燃烧 - 水洗安全废气处理技术
DAS Environmental Experts戴思环保推出的紧凑型燃烧 - 水洗式组合系统，基于数十年废气处理领域的行业经验研发而成。根据工艺气体的成分不同，系统会在环形燃烧器中对其进行氧化、还原或热解处理。后续的湿式洗涤工艺则能可靠地冷却并捕集反应生成的化合物。该机台点处理技术可安全高效地处理工业废气 —— 包括含氟化合物、氨气、硅烷或氢气的废气 —— 目前已在全球半导体行业广泛应用。
利用 STYRAX 优化废气处理
依靠高效的燃烧-水洗或等离子-水洗技术，实现 CF4、SF6 或 NF3 的最大销毁去除率和低耗水量。
