UPTIMUM - CVD 工艺废气处理技术
UPTIMUM 系统是 DAS Environmental Experts 公司燃烧 - 水洗工艺技术组合的重要组成部分，其设计初衷专为满足特定 CVD 工艺对更高运行时长的需求。
UPTIMUM - 现场高效的解决方案
所有 UPTIMUM 系统的占地面积都很小，可从正面和背面进行维修和维护。安装简便快捷，无需专业设备。通过工艺工具接口，可以优化运行成本和总体安全性。
使用 UPTIMUM 对工业流程进行高效处理
UPTIMUM 系统经优化设计，可适配多个工业领域CVD 工艺的最多 6 路独立进气口，且兼容多种燃料气体与洗涤液。UPTIMUM PLUS 型号则专为薄膜硅光伏工艺的需求定制，能处理更大流量的氢气（H₂）与三氟化氮（NF₃，或氟气 F₂），同时不影响系统可用性。
燃烧 - 水洗工艺：安全处理废气的专业技术
DAS Environmental Experts 推出的紧凑型燃烧 - 水洗组合工艺，基于数十年废气处理领域的工程经验研发而成。根据工艺气体的组分特性，其将在环形燃烧器中完成氧化、还原或热解反应；后续经湿式洗涤环节，可对反应生成的化合物实现可靠冷却与捕集。该使用点处理技术能安全高效地处理工业废气（包括含氟化合物、氨气、硅烷或氢气的废气），目前已在全球半导体行业广泛应用。
利用 UPTIMUM 优化废气处理
UPTIMIUM 可广泛应用于各行各业的各种 CVD 工艺。
UPTIMUM - 技术参数和配置选项
UPTIMUM - 技术参数和配置选项
