半导体行业废气及废水处理综合解决方案

三十余年来,DAS EE 始终深耕终端废气处理技术领域,是行业内的资深专家。客户高度认可我们的两大核心优势:一是在工艺废气治理方面积淀的深厚技术储备,二是在水处理全领域具备的专业技术能力。

守护人员安全、生态环境与生产运行 —— DAS EE 终端废气处理技术为您保驾护航

在高科技半导体生产流程中,晶圆清洗、刻蚀、化学气相沉积(CVD)、外延等诸多工序,都会产生含有环境敏感物质与安全高危物质的工艺废气和废水。这类气体中,有相当一部分具有毒性、易燃性,或是属于温室气体。若未经过滤便直接排入中央废气处理系统,极易造成沉积物堆积、形成爆炸性混合物,甚至引发生产停机事故。

针对此类问题,DAS Environmental Experts 提供定制化、安全高效的专业解决方案。我们的使用端废气处理系统包含燃烧洗涤塔系统、洗涤塔、静电过滤器等类型,能够在污染物产生源头直接完成污染物去除作业。

最终可得到洁净无颗粒物、对环境无害的混合气体,可通过废气通道安全排放。此外,我们还负责处理该流程中产生的各类废液,确保形成一套稳定、安全的废弃物处理方案。

水处理及废水处理领域,我们为半导体行业量身定制专属解决方案 —— 覆盖既有系统升级改造,到交钥匙式新厂建设等全业务范畴。我们的专家团队可针对您的生产需求,精准规划、建造并运营终端式、半集中式及集中式处理设施。凭借在全球工业废水处理厂建设领域15 年以上的实践经验,我们掌握了丰富的生物处理及化学物理处理工艺,能够稳定将污染物浓度控制在法定限值以下。所有系统均采用模块化设计,支持即装即用,且符合纯度、安全及可靠性的最高标准 —— 助力您的工厂实现高科技生产与环境保护的协同发展。

image

灵活型使用端废气处理解决方案

废气处理方案

自 1991 年起,由DAS Environmental Expert GmbH自主研发生产的使用端废气处理(POU)设备,便始终胜任各类废气治理任务。该系列设备可适配芯片行业几乎所有主流镀膜及刻蚀设备,能对工艺废气开展安全且环保的处理,处理后的废气排放完全符合法定标准。DAS相关技术依托灵活整合的产品理念打造而成,其中体积最小的设备可直接嵌入占地面积不足 1 平方米的机柜。此外,DAS技术采用全自动化与传感器控制模式,符合业内最高等级的权威安全认证标准。

危险工艺废气的处理,离不开现代化废气处理解决方案

半导体行业的生产过程会使用各类工艺气体。这类气体若未得到妥善处理,将会对生产设施、企业员工及生态环境构成安全威胁。DAS 系列解决方案运行高效,采用全自动化与传感器控制模式,可实现最优的废气处理效果。

从废水处理到资源回收

在半导体行业,各类生产、清洗工序以及后续的废气处理环节,都会产生相应的废水。DAS EE 正是这类废水处理领域的专业机构。无论你是想要对现有废水处理系统进行升级改造,还是计划新建一套废水处理设施,我们的专家团队都会与你协同合作,量身打造一套既能满足需求、又能超乎预期的定制化解决方案。

我们会充分考量你的各项具体需求,提供集中式、半集中式及终端式处理系统。这种灵活的方案模式,能够让我们根据你的需求,精准匹配技术类型、布设位置与系统规模。依托系统组件的模块化设计,DAS 系列废水处理系统可实现高度预制化交付,不仅安装简便,更能助力项目快速、安全、可持续落地。

一对商界人士在现代工业设施内参观大型储罐,周围有金属梯和管道,环境显示出高科技与工业化的氛围。

我们为半导体行业提供的产品系列,主要涵盖

  • 去除废水中以化学需氧量(COD)、生化需氧量(BOD)为衡量指标的有机污染物

  • 去除废水中的重金属及其他有毒化合物

  • 化学机械抛光(CMP)废水处理

  • 针对硅废料的专业处理服务

  • 含氟与含砷废水的处理及水质抛光

  • 针对异丙醇(IPA)与其他挥发性有机化合物(VOCs)的专项处理

  • 经处理废水的回用(水循环利用)

  • 有价金属的废水回收与循环利用

半导体行业生物型废水处理厂实例

Case Study

环保工厂3D模型展示多个重要组成部分,包括均化罐、生物反应器、混合罐、反硝化池、过滤室、鼓风室、化学室、MCC室、脱水室、污泥仓、除臭单元和控制中心,背景为网格地板。

半导体制造商依托废气废水协同处理方案,实现绿色环保生产

废气废水协同处理

image
提升半导体制造流程的环境可持续性

三十余年来,DAS Environmental Experts 始终致力于创新系统的研发,将废气与废水处理整合为一套闭环式的可持续处理流程。我们的技术可在污染物源头直接净化工艺废气,同时处理由此产生的废水并实现废水回用。通过这种模式,我们从减排降污到资源回收,为半导体生产的生态可持续发展作出了重要贡献。译法说明

PFAS:半导体行业面临的棘手挑战

DAS EE 正研发先进的气水协同处理解决方案,助力行业实现全氟和多氟烷基物质(PFAS)的安全、可持续管控

聚焦 PFAS:相关主题深度资讯

可持续发展战略目标

image

半导体行业全品类业务专属联系人

半导体制造废气废水安全处理 —— 定制化系统解决方案