适用于薄膜晶体管（TFT）行业的高可靠性废气处理技术
采用 DAS 废气处理系统，实现 TFT 安全化生产
TFT/LCD 行业生产过程中产生的废气，含有硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）、一氧化二氮（N₂O）等工艺气体残留。这类物质中部分具有强腐蚀性、毒性或高度可燃性，需在使用端就地处理。针对此类废气处理的特定需求，DAS 为客户提供可靠的解决方案。TFT/LCD 显示屏的制造离不开废气处理环节。例如，在玻璃基板上制备大面积薄膜晶体管（TFT）的制程中，需采用化学气相沉积（CVD）技术，将薄膜沉积于基材表面。
危险废气安全处置方案
TFT/LCD 行业生产制程中产生的废气，含有硅烷（SiH₄）、氨气（NH₃）及一氧化二氮（N₂O）等工艺气体残留。这类废气不仅会对环境构成严重威胁，更会危及生产设施的运行安全。若将各类废气汇入工厂中央废气处理系统，极易形成高度易燃或易爆的混合气体，此类混合气体存在重大安全隐患，因此必须全程杜绝此类混合操作。此外，腐蚀性气体还会加速泵体、阀门及管道的腐蚀进程，进一步降低设施的安全系数；而废气气流中夹带的微小颗粒物，会沉积于管道内部并造成堵塞，不仅会增加设备维护成本，严重时甚至会导致整条生产线停机。
DAS 废气处理技术基于一套灵活集成的系统理念打造。我们的小型设备机型小巧，占地面积不足 1 平方米，可直接嵌入机柜安装。DAS 技术采用全自动化传感器控制模式，符合行业最高级别的权威安全认证标准。
废气处理相关问题专属对接人
为 TFT 行业量身打造危险废气安全处理定制化方案
