LARCH（热分解）
LARCH 为我司专属产品系列，专为金属有机化合物气相沉积（MOCVD）与极紫外光刻（EUV）工艺的终端应用场景研发设计。
LARCH 系列 —— 面向 LED 及氮化镓（GaN）行业 MOCVD 工艺的终端废气处理方案
LARCH 系列干式焚烧炉由DAS Environmental Experts公司研发设计，专为终端应用场景处理 LED、微型发光二极管（μLED）、氮化镓（GaN）领域的 MOCVD 工艺废气，以及极紫外光刻（EUV）工艺废气。
氧化与热分解组合处理工艺，以可持续的方式拓展了DAS的技术产品矩阵。
低投资与运营成本、简洁稳固的结构设计、低环境影响（无二氧化碳排放、氮氧化物排放量极低），是 LARCH 系列产品的核心优势。目前已投入运行的设备案例显示，其维护间隔可达六个月以上，且设备支持双侧检修。通过接入工艺设备接口，能够进一步优化运行成本；搭配换热器使用时，还可将工艺气体的余热回收，供其他生产环节利用。
LARCH 系列 —— 面向工业制程高效处理的干式燃烧设备
LARCH
LARCH 为我司推出的终端废气处理设备，可处理 MOCVD 及 EUV 常规工艺中常见的大流量氢气、氨气，以及小流量金属有机物、硅烷等废气。该系统的核心优势包括：投资与运行成本低廉、设计简洁稳固、环境影响小—— 无二氧化碳排放、氮氧化物排放量极低，且不产生废水；设备维护间隔可达六个月以上。
LARCH PLUS
LARCH PLUS 是我司 LARCH 终端废气处理设备系列的最新升级款。该产品的推出，旨在满足氮化镓（GaN）与极紫外光刻（EUV）领域日益增长的产能需求，可处理大流量氢气、氨气，以及小流量金属有机物、硅烷等废气。
LARCH PLUS 的核心优势包括：投资与运行成本低廉、设计简洁稳固、环境影响小—— 无二氧化碳排放、氮氧化物排放量极低，且不产生废水；设备维护间隔可达六个月以上。
LARCH —— 优化您的废气处理方案
针对 LED 与 GaN 行业 MOCVD 工艺，优化终端废气处理方案
