AQUABATE - 高效可靠去除水溶性污染物
经实践验证的成熟方案 ——AQUABATE 采用纯水洗洗涤技术，可在源头灵活定制化处理工艺废气中的水溶性有害物质。
AQUABATE - 高效可靠去除水溶性污染物
AQUABATE 湿式洗涤器的维护工作快捷简便 —— 设备前后侧均设有操作与维护通道。该经济型系统占用空间小，通过工艺设备接口可进一步优化运行成本与整体安全性。
AQUABATE产品家族
AQUABATE EPI
AQUABATE EPI 型号专为处理半导体行业外延工艺废气而设计。该洗涤器可满足以氢气作为工艺载气时所需的严苛安全标准 —— 洗涤过程后，氢气会被安全稀释至其爆炸下限以下。废气经最多 3 个独立接口导入，接口采用防堵塞专项设计；进气口及进料管路均可选配加热系统。
AQUABATE FLEX
AQUABATE FLEX 是一款模块化湿式洗涤器，适用于高效处理不同应用场景废气中的水溶性组分。进气口采用防堵塞专项设计，设备提供单级或双级洗涤配置可选。依托紧凑型模块化结构，该湿式洗涤器可根据客户需求进行定制优化。根据洗涤器的配置方案，进气口可按需加热至洗涤级或洗涤液罐位置，以避免废气输送过程中因气体冷凝引发的各类问题；为提升洗涤效率，还可选择在洗涤液中添加化学药剂进行增效处理。
AQUABATE—— 优化您的废气处理方案
可靠处理氯化氢、氨气等废气及蚀刻工艺降解产物，保障排放达标。
