MEMS 生产创新型废气处理方案
源自德累斯顿的技术，助力持续增长的市场
面向工业 4.0、自动驾驶汽车、物联网（IoT）等前沿技术领域，MEMS 元件具有不可或缺的核心价值 —— 它是连接模拟世界与数字世界的关键纽带，更是数字数据处理的核心枢纽。
伴随各类前沿技术的飞速发展，MEMS 的市场规模与市场份额均持续增长。目前，汽车领域对 MEMS 的需求已居高不下，这类元件在提升驾乘舒适性与行车安全性方面发挥着重要作用；自动化技术应用领域也在生产更多数量的 MEMS。在 MEMS 的生产制造环节，我们的废气处理系统是对生产工艺的高效配套补充。无论生产中采用何种设备与制程，我们的废气处理技术都能在有害物质的产生源头（点位式处理 / Point-of-Use），从废气气流中实现可靠去除。
点位式废气处理系统，为 MEMS 生产制程的每个环节筑牢安全防线
MEMS 的生产制造采用半导体行业的通用制程，例如单芯片微系统的制作，会在微电子通用技术的基础上，增加若干专属的特殊制程步骤。自上世纪 90 年代创立以来，DAS Environmental Experts 便持续为半导体行业研发、生产并安装定制化废气处理设备，同时可根据客户需求，提供配套的系统运维与保养服务。
从反应溅射、原子层沉积（ALD）、化学气相沉积 / 等离子体增强化学气相沉积（CVD/PECVD）等各类薄膜沉积工艺，到蚀刻、结构化加工及晶圆清洗的多种技术应用，我们可为所有制程环节提供相匹配的废气处理解决方案。我们的技术采用灵活的集成式系统设计理念，系统布局紧凑、占地空间小，设备通常可集成于机柜内，占地面积不足 1 平方米（10.8 平方英尺）。
因此，有害气体及混合气体的处理可在产污源头（Point-of-Use）实现安全、可靠的定点处理。有害物质通过燃烧/水洗系统（配备独立的燃烧和水洗的scrubbers），并辅以静电过滤器完成去除；处理后的残余气体可通过排气系统直接达标排放至外界，且我司设备的废气排放指标均符合各项法规要求。
我司产品体系可覆盖 MEMS 生产全制程的各类废气处理技术需求，相关系统均采用传感器智能控制，实现全自动运行；且凭借多项权威认证，系统运行符合最高安全标准要求。
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为 MEMS 行业安全生产提供定制化废气处理解决方案
