SALIX - 去除单晶圆清洗工艺中的污染物
SALIX 废气处理设备专为满足半导体行业水洗化学清洗工艺（水洗清洗技术）的全新要求而研发。
SALIX—— 开关箱的小型灵活性替代方案
SALIX 系统是作为开关箱应用方案的替代产品研发而成。相较于开关箱设计理念，其优势包括：排气管道更小巧、结构更简洁，设备占地面积更小，且针对工艺变更具备更高的灵活性。相关详细背景信息，请参阅我们关于半导体行业水洗工作流程的案例研究。
SALIX – 水洗清洗工艺专用源头废气处理系统
SALIX —— 化学水洗清洗工艺专用局部废气处理系统
SALIX 产品系列是专为化学水洗清洗工艺设计的紧凑型高性能局部废气处理系统，具备高气体处理量。该解决方案经特殊设计，可高效去除醇类、水溶性溶剂、酸类及氨等水溶性气态化合物，同时能可靠分离废气流中的颗粒物、盐类及液滴。
典型应用领域为单晶圆水洗清洗工艺 —— 该场景下稳定洁净的排气环境至关重要。SALIX 系统经特殊设计，可实现长达一年以上的超长维护周期，进而保障系统的高可用性。
该产品系列包含 SALIX、SALIX MINI 及 SALIX MICRO 三款型号 —— 均为分层级解决方案，可根据空间需求、工艺要求及集成度，在极小安装空间内实现最优性能。
SALIX— 优化您的废气处理方案
该系统可以可靠处理单晶圆清洗设备废气中的异丙醇（IPA）、氨及氟化氢。
