工业中的细粉尘

颗粒物在工业中发挥着重要作用,不仅在职业健康和安全方面:在工业过程的背景下,产生的废气必须可靠,所含颗粒物必须安全分离。特别是高科技行业,依赖于 DAS 戴思环保的解决方案。

工业生产是细粉尘的最大排放源之一

从能源生产到物流、生产工序和废物处理,工业活动造成了严重的空气污染。化工产业和矿产业使用溶剂,以及高科技产业开展生产时都会产生细粉尘。

高科技产业中的细粉尘来源

在半导体行业中,在后端使用激光切割晶圆会产生细粉尘。在使用热制程(焚烧炉)处理工艺废气时,特别是在完成涂层工艺流程(如外延工艺流程)后,或在制造太阳能电池或平面屏幕,需要给大型表面覆上涂层时,也会产生尘粒。如果不采取进一步措施加以控制,尘粒便会进入废气系统,造成堵塞,甚至迫使整个设备停运。细粉尘进入大气后,还会给健康和环境带来风险。细粉尘会损害设备和晶圆等产品,因此要严格确保尘粒不会进入工厂内的关键区域(例如洁净室)。

Wafer

细粉尘分离工艺

细粉尘会危害人体健康,影响机器运转。工业流程产生的废气必须得到可靠、安全的处理,废气中的细粉尘需要分离出来。可使用的分离工艺包括:

旋风分离器,静电分离器,湿式分离器和过滤分离器。通常应使用静电分离器或过滤分离器分离细粉尘(如PM2.5颗粒和超细颗粒)。而旋风分离器则更适用于分离粗糙颗粒。

静电分离器

静电分离器利用电场清除废气中的颗粒物、气溶胶和冷凝物。静电分离器能有效、可靠地将废气中的细粉尘、超细粉尘和可冷凝的有机化合物分离出来。

湿式分离器

废气洗涤器泵让废气流与洗涤液接触,洗涤液会凝固并部分溶解废气所含的颗粒。处理后得到的混合物会从废气中分离出来,从而净化洗涤液。

过滤分离器

使用过滤分离器时,废气通常从外部穿过滤芯进入设备内部。滤气附着在过滤介质上,形成所谓的滤饼——一层需要定期清除的灰尘。