现场颗粒物过滤与水循环系统

结构紧凑，适用于高科技行业去除各类颗粒物（如微尘、金属氧化物等）。

应用膜技术实现水资源循环利用

微芯片制造过程中，部分工序会使用有害气体和化学物质，这些物质必须进行现场处理。每台工艺设备后方都装有排气管，将废气从主机输送至废气处理系统。该系统通常与真空泵等配套设施共同安装于次洁净区。根据有害气体类型和排放量，常见的废气处理技术方案包括焚烧与洗涤组合工艺或单一洗涤处理。处理后的废水通常会直接排入晶圆厂中央废水处理设备。

市场对水循环利用和再利用技术的需求正持续攀升。为响应这一需求，DAS Environmental Experts整合废气与废水处理领域的专业技术，开发出了智能水处理解决方案。该方案在现有系统中增加了过滤工序，可有效去除废气处理系统排放废水中的固体颗粒物（如金属氧化物），实现高达90%的水资源回收率。系统采用维护需求极低的先进膜技术，能快速实现投资回报，同时处理后的水可重新用于废气净化系统，助力半导体制造商实现可持续发展目标。