硅薄膜太阳能电池量产线废气处理优化方案实现降本增效
废气处理系统升级
面对薄膜光伏行业日益增长的降本增效需求，我们重点优化了废气处理系统运行成本。
在确保DRE（销毁清除效率）不变的前提下，基于实际生产条件，我们进行了为期6个月的现场测试，验证了维护和介质消耗的优化效果。
保定天威薄膜光伏生产线概览
a-Si/μc-Si化学气相沉积设备在生产过程中需大量使用硅烷（SiH4）、氢气（H2）、三氟化氮（NF3）以及三甲基硼（TMB）和磷化氢（PH3）作为掺杂气体。这些工艺气体具有自燃、易爆或环境危害特性，需通过燃烧处理结合湿式洗涤装置与湿式静电除尘器进行协同净化。系统每日可处理约100kg二氧化硅粉尘和180kg氟化氢。TCO设备排放的废气含二乙基锌（DEZ）、氧化锌颗粒及碳氢化合物，每台TCO设备均连接专用燃烧/水洗式废气处理系统，有效氧化可燃物并截留颗粒物。
降本维护：主要原因及实现的改进
KAI — 采用GIANT/EDC技术的废气处理系统
- 反应器及连接至静电除尘器的管道内的颗粒物沉积
- 反应器内沉积物远低于预期 → 维护周期延长
- 连接管道加装自清洁免维护预过滤器 → 无需再对连接管道进行维护
- 强化洗涤液的循环/搅拌 → 防止颗粒物在循环槽中沉积
- 盐蚀是问题的根源 → 通过循环槽结构微调实现根本性解决
ESCAPE — 测试开始前的维护周期：与TCO工具相同
- 维护期间观察到极细微的颗粒物沉积
- 测量：延长维护周期
- 结果：对正常运行时间无负面影响
现场废气处理节能方案
废气处理系统GIANT
- 优化pH调节体系 → 降低碱液消耗
- 防止洗涤液沉淀并改进过滤效果 → 液体中的颗粒物浓度增高，用水量减少
废气处理系统ESCAPE
- 减少用水量 → 无负面影响
成本节约
通过一系列简单而持续的改进，废气处理系统的运行成本可显著降低。
您是否也想降低成本？
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联系方式
戴思环保设备贸易(上海)有限公司
上海浦东新区张江微电子港碧波路690号1幢2层203-2室
电话：+86 021 6110-9669