通过改进硅薄膜太阳能电池批量生产线的废气处理，实现成本降低

由于薄膜 PV 生产线中存在成本降低压力，因此已经开始努力降低废气处理系统的运行成本。

改善废气处理

不降低焚毁去除效率（DRE）是一个前提条件。在 6 个月的时间范围内，在生产状况下对维护与介质消耗量的预定改进进行了现场测试。

保定天威集团薄膜 PV 生产线综述

Point-of-use Abgasentsorgungskonzept Tianwei

a-Si/μc-Si CVD 处理工具采用大量硅烷、氢气、三氟化氮、TMB、磷烷作为掺杂气体。工业废气具有自燃性、爆炸性，可能对环境造成危害。因此，将由与湿式静电除尘器相连的燃烧与水洗使用点减排装置处理工艺废气。每一天将在治理系统中生成并截留大约 100 kg的二氧化硅粉尘和 180 kg的氟化氢。从 TCO 工具排出的废气包含 DEZ、氧化锌颗粒物和碳氢化合物。每个 TCO 工具都连接了燃烧/水洗废气处理系统，该系统将氧化可燃性化合物并截留颗粒物。

降低维护成本：主要原因与实现的改进

KAI－采用 GIANT/EDC 的废气处理

反应器和静电除尘器连接管道中的颗粒沉积物
- 反应器中的沉积物远远少于预期 → 维护间隔期延长
- – 在连接管道中添加了一个自洁式免维护预过滤器 → 不再需要对连接管道进行维护
颗粒物在回路储槽中的沉降 → 通过增加洗涤液的循环/搅拌进行预防
盐结垢证明是问题的主要原因 → 通过储槽中的小修改可以彻底消除原因

ESCAPE－在测试开始前的维护间隔期：与 TCO 工具的情况相同