戴思 DAS Environmental Expert 的系统能可靠地处理 MEMS 生产产生的废气
微机电系统（MEMS）在一块芯片上组合了机械部件（例如：传感器、致动器）和电子模块（例如：评估与通信技术）。增加了光学元件的 MEMS 被称为微光机电系统（MOEMS）。戴思 DAS Environmental Expert 提供适用于 MEMS 及 MOEMS 生产的可靠废气处理解决方案。
原产于德累斯顿、面向成长中市场的治理技术
对于面向未来的技术，例如：工业 4.0、自动驾驶车辆与物联网（IoT），由于 MEMS 部件是模拟与数字领域之间的联系环节以及数字化数据处理的交换机，因此它们具有基础性的重要意义。
随着这些面向未来的技术的快速发展，MEMS 的市场与市场份额正处于增长之中。在汽车领域中，对 MEMS 已经具有高需求量，它们有助于提高驾驶舒适性和安全性。
为自动化技术方面的应用而生产的 MEMS 数量也正在日益增加。
在 MEMS 制造过程中，戴思 DAS Environmental Expert 的废气处理系统可以对制造技术进行有效补充。不管使用什么设备或工艺过程，我们的治理技术都能可靠地在危险物质的起始点（使用点）从废气流中直接清除危险物质。
使用点废气治理系统可以提高 MEMS 制造工艺过程中每个步骤的安全性
MEMS 的制造采用了半导体行业中常见的工艺过程。例如，一个芯片上的微系统采用了 常见的 微电子技术 以及一些附加的 专业工艺过程步骤。自 20世纪 90 年代以来， 戴思 DAS Environmental Expert 从成立时起 就为半导体行业开发、制造并安装客户专用的废气治理技术装备。根据客户要求，我们还将提供系统检修和维护。
在沉积薄膜的各种选择方面，从反应溅射、原子层沉积（ALD）和化学气相沉积/等离子体增强化学气相沉积（CVD/PECVD）到用于蚀刻和构造以及晶片清洗的各种技术，我们提供适用于所有工艺过程步骤的适当废气处理解决方案。我们的技术是一种灵活的集成系统概念。在产生小占地面积的基础上，我们的系统通常安装在一个机柜内，并且只需要小于一平方米 （10.8 平方英尺） 的占地面积。
因此，可以直接在使用点安全而又可靠地减少危险气体与气态混合物。借助于静电过滤器，可以通过配备单独燃烧器与气体洗涤器的燃烧器/洗涤器系统清除有害物质。残留气体可以通过排气系统被立即释放到环境中。我们的系统产生的废气可以满足所有的法规要求。
我们的产品组合列出了适用于 MEMS 制造领域中所采用所有工艺过程的治理技术。我们的系统按全自动方式运行，并且采用传感器进行控制。我们获得的 大量 相关认证可以证明这些系统满足最高的安全标准。