采用静电过滤器 EDC 的使用点废气处理
这些系统负责处理在光电、LED、TFT 与半导体行业中积聚并且包含微米级与纳米级颗粒或者包含气溶胶的工艺过程废气。
该除尘器可以将最细的颗粒物的颗粒排放量最多降低到 99.9%,并且可以成功防止排气装置堵塞。它可以配合大多数治理装置一起使用。可以从正面和背面进行操作和维护。
EDC 产品系列的工作原理
废气将被引入到预洗涤器中,接着将进入储槽内;储槽同时还是洗涤液体的储藏槽。预洗涤器配备了喷嘴,这些喷嘴使气流充满水,并形成紊流。之后,废气通过通道被送入到静电除尘器管道内,在那里,废气中包含的微米级与纳米级颗粒物将被离子化,并在水壁上的接地水膜中进行沉淀。经过过滤的细微粉尘将悬浮在洗涤器溶液中。除尘器配备了用于发射电极的自动自洁式机构。剩余残留气体将满足严格的德国空气污染法律标准(德国空气质量控制技术指南)。
EDC/EDC PLUS ——在使用点降低微米级与纳米级颗粒排放量
EDC 与 EDC PLUS是静电除尘器,可以对包含微米级与纳米级颗粒或者包含气溶胶并且最高达到 270 立方米 /小时的工艺过程废气进行使用点处理——就像在太阳能电池或平板显示器(FPD/LCD)制造中积聚的那些废气。该除尘器可以将二氧化硅与其它颗粒物的排放量最多降低到 99.9%。
规格
- 高效处理包含颗粒物或包含气溶胶的废气流
- 所有固体颗粒物都悬浮在液体中(非干尘处理)
- 极低的颗粒排放量
- 类似于采用传感器监视所有关键参数的高安全标准
- 与上游治理系统之间具有接口
Technical Data
- 测量尺寸(深度 x 宽度 x 高度):830/1500 毫米 × 855/1000 毫米 × 2100 毫米
- 维护区域通道位于正面与背面
- 气体入口:DN100/DN150
- 气体入口:DN100/DN200
对于所有的 EDC 系统,都有下列设备选项可供使用:
- 电源:3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
- 压力控制风扇
- 碱液供应系统
- 过程工具接口
- 信号塔
- 滴液盘
- 地震安全套件
- 监控
- SEMI S2 认证