STYRAX现场废气处理系统
STYRAX工具系列采用燃烧/水洗技术，专为半导体和光伏产业中的高标准废气处理工艺开发，适用于化学气相沉积（CVD）、蚀刻、外延生长（EPI）及发光二极管（LED）等制程需求。在气候变化和可再生能源需求日益增长的背景下，STYRAX还可作为高效等离子体洗涤器，实现各类废气的电气化处理，同时保持卓越的净化性能！
支持多种系统介质供应方案，延长维护周期和系统运行时间。
为何选择STYRAX
STYRAX系列产品基于现代废气处理两大核心需求而研发：提升PFC减排效率与延长维护周期。系统采用优化的氢氟酸洗涤工艺，大幅降低水和/或碱液消耗量。独特的进料口防堵塞设计保障系统持续稳定运行，同时提供多种工艺选择，进一步延长设备维护周期。
STYRAX废气处理系统工作原理
STYRAX燃烧/水洗式废气处理系统工作原理
STYRAX系统实现工艺废气的源头处理（现场处理），采用自上而下的燃烧/水洗工艺。根据废气成分差异，系统内可同步发生氧化、还原和热解等多重化学反应。反应器内的流体壁/膜设计可有效杜绝腐蚀风险和颗粒沉积问题。
在反应器旁的洗涤器中，可溶性成分会被吸收，悬浮颗粒得到有效拦截。洗涤液不仅能够冷却废气，还能中和卤化氢等燃烧产物。通过采用STYRAX整体减排方案，高科技行业制造商可完全符合德国空气质量控制技术指南（TA Luft）的严格标准。
燃料气体替代解决方案——STYRAX等离子水洗式废气处理系统
STYRAX等离子洗涤器通过高效电能直驱技术，重新定义废气处理标准。集成15千瓦大功率直流等离子炬系统，实现最优能量输出效率。
本产品延续经典反应器设计与洗涤工艺，在保持与上一代天然气驱动产品相同可靠性、维护便捷性和紧凑型结构的同时，将能耗大幅降低了50%！
STYRAX的优势
- CF4、SF6或NF3的最高DRE≥99%
- 高容量处理能力，适用于CVD气体，如SiH4、TEOS、H2等
- 抽气速率高达1000 slm
- 封闭式设计，耗水量低
- 化学气相沉积工艺维护周期超过1个月
- 通过SEMI 2认证
STYRAX DUO——具备备用功能的废气处理系统
STYRAX DUO是我们的标准型号，配备两套可同步运行的洗涤系统。系统设计经过优化后，可适配半导体和光伏工艺设备，最高支持四个独立进气口配置。当一台反应器发生故障或需要维护时，另一台反应器可无缝接管废气处理任务（内置备用系统），保障接近100%的运行时效。STYRAX DUO支持多种燃料气体与洗涤液体的灵活选择，前后双通道设计便于操作维护，闭环水循环结构显著降低了水资源消耗。
其他产品 – 无备用系统
STYRAX INLINE经过优化后，可适配半导体和光伏工艺设备，支持六个独立进气口配置。
STYRAX TWICE采用双重系统设计，集成两个独立运行的燃烧/水洗系统，共享智能控制与介质供应单元。经过优化后，该系统可适配半导体与光电行业工艺设备，支持八个独立进气口配置。
技术参数
| STYRAX INLINE | STYRAX TWICE | |
|---|---|---|
| 尺寸（宽×深×高） | 1110 mm x 675 mm x 2070 mm | 1865 mm x 675 mm x 2070 mm |
| 维护区域 | 系统前方和后方 | 系统前方和后方 |
| 进气口 | 3 x DN40 + 3 x DN25 | 2 x 4 DN40 |
| 出气口 | DN100 | 2 x DN100 |
可选配置
以下设备选项适用于所有STYRAX系统
- 最多6个进气口
- 全加热式入口管道，最高温度可达200℃
- 闭环系统：水、碱液
- 工艺工具接口
- 信号塔
- 滴液盘
- 电源：3 × 400 V/50 Hz或3 × 208 V/60 Hz
- 燃烧/水洗式废气处理系统（燃料选用天然气、液化石油气或氢气） | 或等离子水洗式废气处理系统
- 氧化剂：O2、CDA
- 入口清洁装置（柱塞），最大限度减少废气在入口处积聚
- 冲洗式衬垫——专为蚀刻工艺设计的防堵塞反应器
- 自适应燃烧控制——集成式氮氧化物减排系统
- 负压辅助风机
- 地震安全套件
- 监控
