采用 AQUABATE（湿式）的使用点废气处理
已得到充分证明的 AQUABATE 解决方案是一种单纯的湿式洗涤器技术，可以在使用点对工艺过程废气中的水溶性有害物质进行灵活的定制治理。典型气体包括氯化氢、 氯硅烷、氨气以及蚀刻工艺过程的分解产物。
凭借正面与背面的操作及维护通道，可以轻松、迅速地进行 AQUABATE 湿式洗涤器的维护。这种具有成本效益的系统只需要较小的空间。过程工具接口可降低操作运营成本，提升整体安全。
AQUABATE 湿式洗涤器的工作原理
工艺过程工具的废气将通过最多四个单独连接被引入到洗涤器中，这些连接经过特别设计，可以防止堵塞。随后，按照顺流或逆流原理，将采用填充床或喷淋式清洗机对气流进行净化。通过在水中进行物理吸收，可以清除气流中的水溶性成分。为了提高清洗效率，可以选择采用化学品强化洗涤液体。该系统可以按一段式或两段式洗涤器的形式进行设计。在最后的吸收步骤后，将由一个除雾器从清洁气流中清除截留的洗涤液滴。系统由一个可编程逻辑控制器自动控制，并且满足 SEMI S2 的安全要求。
AQUABATE FLEX – 模块化废气处理
AQUABATE FLEX 是一种模块化湿式洗涤器，可以高效地处理不同应用的废气中的水溶性成分。气体入口经过特别设计，可以防止堵塞。AQUABATE FLEX 可以作为一段式或两段式洗涤器进行选用。在紧凑的模块化设计的基础上，将按照客户要求对湿式洗涤器进行优化。根据洗涤器的配置，可以选择对气体入口进行加热，一直达到洗涤段或洗涤液储槽，以便避免废气供应装置中冷凝气体引起的问题。为了提高清洗效率，可以选择采用化学品强化洗涤液体。
规格
- 有 6 种变化型式可供选用
- 不会出现入口阻塞
- 占地面积小
技术数据
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：1165 mm x 820 mm x 1944 mm
- 维护区域通道位于正面与背面
- 气体入口：最大 4 x DN40－DN150
- 气体出口：2 x DN100 或 DN150 （ 应用 专用）
其它 AQUABATE 产品
AQUABATE EPI
AQUABATE EPI 经过了特别设计，可以处理半导体行业中外延工艺过程的废气。该洗涤器满足在采用氢气作为工艺过程载气时必不可少的高安全标准。在洗涤过程后，氢气将被安全地稀释到其爆炸下限。废气将通过最多三个单独连接进行引入，并且这些连接经过特别设计，可以防止堵塞。入口和供给管线都具有可选的加热系统。
技术数据
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：1020 mm x 930 x 1800 mm
- 维护区域通道位于正面与背面
- 气体入口：最大 3 x DN40
- 气体入口：DN40
AQUABATE COMBIBURN
AQUABATE COMBIBURN 结合了 AQUABATE EPI 与 ESCAPE PLUS 技术，是专为处理外延工艺过程废气而开发的解决方案。气体洗涤将分为三个步骤执行（取样过程）：由 AQUABATE EPI 气体洗涤器对氯化硅及氯化氢进行吸收。硅烷、锗烷和氢气在 ESCAPE PLUS 燃烧器装置中进行燃烧。在 ESCAPE PLUS’后续洗涤过程中，对二氧化硅和二氧化锗进行吸收。包括氢气在内的所有工艺过程废气都将得到彻底治理。
技术数据
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：1875 mm x 930 mm x 2070 mm
- 维护区域通道位于正面与背面
- • 气体入口：最大 3 x DN40 • 气体入口：最大 3 x DN40
- 气体入口：DN100
选项
下列设备选项适用于所有的 AQUABATE 湿式洗涤器系统：
- 电源：3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
- 加热供给管线与入口
- 过程工具接口
- 信号塔
- 滴液盘
- 地震安全套件
- 监控
- SEMI S2 认证
证书
