采用 SALIX 的使用点废气处理
湿式洗涤器 SALIX 经过设计，可以满足半导体行业中水洗技术方面的新要求。该系统能可靠地处理单晶片清洗工具所产生废气中的异丙醇（IPA）、氨气和氟化氢。
SALIX 作为转换箱应用的替代方案进行开发。与转换箱概念相比而言的优势包括：更小、更加简单的废气管道、更小的占地面积以及更高的工艺过程变化灵活性。在我们给出的半导体行业内湿式工作台工艺过程相关案例研究中，可以获得详细的背景信息。
湿式洗涤器系统 SALIX 的工作原理
将利用喷嘴通过最多十二个单独入口将废气送入到预洗涤器中，这些喷嘴可以消除输入处发生的任意阻塞。废气将进入第一个洗涤段，并向上流过采用填充材料填充的第一个洗涤塔。将通过喷嘴向洗涤塔供应洗涤液体。由于填充材料具有大表面并且采用了逆流原理，因此，可以实现最佳的废气吸收。
在第二段中，采用了不同的洗涤液体。将采用一个除雾器防止两个洗涤段的液体发生混合。第二种洗涤液体可以运用备选的化学作用，因此可以优化废气的洗涤。在第一个洗涤段中没有发生反应的废气成分，可以在第二个洗涤段中得到更好的吸收。在除雾器中气流的残留水份发生沉积后，残留气体可以满足德国空气污染法律（德国空气质量控制技术指南）的严格标准。
SALIX －湿式洗涤器可以清除单晶片清洗过程产生的水溶性物质
湿式洗涤器 SALIX 的设计允许采用不同的入口配置，总流量可以达到 2,000－5,000 m³/h。空间需求相应地会有所变化。
技术数据
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：1 段式洗涤器：2000 mm x 1250 mm x 1965－2378 mm（包含旁路）
- 尺寸（宽度 x 深度 x 高度）：2 段式洗涤器：3207 mm x 1250 mm x 2040－2575 mm（包含旁路）
- 气体入口：最大 12 x DN 150
- 气体出口：DN 300
选项
下列设备选项适用于所有的 SALIX 湿式洗涤器系统：
- 电源：3 x 400 V /50 Hz或 3 x 208 V/60 Hz
- 旁路
- 信号塔
- 滴液盘
- 地震安全套件
- 监控
- SEMI S2 认证
证书
