ALCEA – 先进催化
高效、整合式脱硝（DeNOx）解决方案，适用于半导体产业燃烧后废气处理。
ALCEA
ALCEA 依托成熟可靠的 DAS 等离子增强催化技术打造，是一款高度集成、高效的二次尾气治理系统，可部署在任何产生氮氧化物（NOx）的废气处理装置下游。该工艺利用等离子体技术生成活性氧物种（ROS），以此作为催化反应的基础。
根据前置处理工艺的不同，ALCEA 可实现高达 95% 的优异 NOx 脱除效率，且能耗极低。该设备将触媒单元集成于废气管道内部，几乎不占用额外空间。这套技术系统可便捷安装于洁净室下层（subfab）的废气管路系统中。
NOx 脱除
设备占用空间极小
便于加装改造
先进 NOx 处理
ALCEA 专为配套各类产生 NOₓ的废气治理工艺作为二次尾气治理系统而开发，例如等离子 - 湿式系统、燃烧 - 湿式系统。由于触媒单元集成在废气管路系统内，无需在洁净室下层（subfab）占用额外空间。该等离子增强触媒技术结合了低温等离子体（NTP）与触媒技术，可在低能耗条件下实现高效 NOₓ脱除。设备处理能力高、结构紧凑，易于接入现有废气系统，且不会影响上游废气治理设备的运行与性能。
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高度集成、高效的 NOx 处理二次尾气治理系统。
