适用于高科技制造的废气处理系统
自 1991 年以来，戴思 DAS Environmental Expert 就在开发和生产用于全球高科技行业中废气处理的客户特定使用点设施。原则上，戴思 DAS Environmental Expert 洗涤器可以处理具有可冷凝性、易燃性、腐蚀性、活性、毒性和/或自燃性的气体（例如：硅烷、硅烷有机物、松油醇、氢气、氨气或卤化氢）和细微的粉尘。
用于在使用点进行废气处理的工艺与产品组合
我们在德累斯顿及世界各地的团队具备丰富的技术专长，这将使我们在半导体/ MEMS、光电、平板与 LED 行业中的客户获益。我们对于客户的制造工艺过程具有详细的知识，这意味着我们明白废气对于制造工艺过程的安全而言至关紧要。我们运用这项专长可以为客户提供量身定制的有效解决方案。针对各个行业，我们开发并生产了使用点洗涤器，适用于最高可达 5,000 m³/h的废气流量。
如果需要，我们还提供集成废气处理概念，可以在我们的系统中包含您选择的真空泵或者包含其它部件，例如：干燥床解决方案。我们也提供自身不同技术的智能化组合，以便形成一个完整的系统，完美地适应您的工艺过程要求。我们的使用点废气处理产品组合包括了四个技术组别。
燃烧/水洗技术
在可能最小的空间中组合两个操作规程——燃烧与水洗，以我们的 ESCAPE 技术为基础；自 DAS 成立以来，对这项技术持续进行了进一步的开发。将废气导入环形燃烧器装置。根据废气的化学成分，会发生各种反应（氧化、还原、热解）。在随后的洗涤过程中，燃烧生成的可溶性气态与固态化合物将由适当的洗涤液体进行吸收和冷却。
废气处理－热解
工艺过程废气将在一个分解区中进行燃烧。需要时，可以采用某种燃料气体。根据废气的化学成分，会发生各种反应，例如：氧化、还原或热解。
燃烧器产品系列 LARCH 专为 LED 行业中的 MOCVD 工艺过程而设计。它能够处理大流量的典型气体——氢气与氨气。
处理水溶性物质的湿式洗涤器
在处理工业废气中的水溶性污染物时，湿法洗涤是一种高效的工艺过程。我们的湿式洗涤器主要在半导体行业中作为使用点（POU）湿法处理系统进行使用。它们将被紧密安装在真空泵后面，可以按最佳方式保护工厂的废气系统免于污染和腐蚀。维护将会迅速而又轻松。
微米级与纳米级颗粒物的静电收集
静电过滤器利用电场清洁工业废气，去除颗粒物。我们的系统可以过滤包含微米级与纳米级颗粒物或者包含气溶胶的工业废气，例如：在 TFT 行业中出现的那些废气。
为了处理可冷凝有机化合物，我们提供了静电冷凝分离器。
咨询与技术选择
在现场分析情况之后，我们的应用专家将执行适当技术的选择。关于工艺过程工具、真空泵、气体类型与流量以及可用运行材料的信息具有决定性意义。
为了确保长期运行时间与工具可用性，一旦系统投入运行，我们的服务与技术支持就可以根据要求或者在现场可供使用。